Ellenőrzés
- 
									
											Miniorsó a mérőtechnikábanEgy érzékelő finom pozicionálása egy miniatűr golyósorsó segítségével egy mérőrendszerben. 
- 
									
											Precíziós keresztasztal Wafer felügyelethezA precíziós LMX keresztasztal lehetővé teszi a szilícium Wafer szimultán felügyeletét fentről és lentről. 
- 
									
											Precíziós keresztasztal tisztatéri energialánccalPrecíziós keresztasztal innovatív, tisztaterem-kompatibilis energiaellátó rendszerrel az ostyák vizsgálatához.